Abstract

We introduce a novel method for correcting distortion in thin silicon substrates caused by coating stress. Thin substrates, such as lightweight mirrors for x-ray or optical imaging, and semiconductor wafers or flat panel substrates, are easily distorted by stress in thin film coatings. We report a new method for correcting stress-induced distortion in flat silicon substrates which utilizes a micro-patterned silicon oxide layer on the back side of the substrate. Due to the excellent lithographic precision of the patterning process, we demonstrate stress compensation control to a precision of ~0.2%. The proposed process is simple and inexpensive due to the relatively large pattern features on the photomask. The correction process has been tested on flat silicon wafers that were distorted by 30 nm-thick compressively-stressed coatings of chromium, achieving RMS surface height and slope error reductions of a factor of 68 and 50, respectively.

© 2019 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Compensating film stress in thin silicon substrates using ion implantation

Brandon D. Chalifoux, Youwei Yao, Kevin B. Woller, Ralf K. Heilmann, and Mark L. Schattenburg
Opt. Express 27(8) 11182-11195 (2019)

Coating stress analysis and compensation for iridium-based x-ray mirrors

Anne-Catherine Probst, Thomas Begou, Thorsten Döhring, Sebastian Zeising, Manfred Stollenwerk, Johannes Stadtmüller, Florian Emmerich, and Julien Lumeau
Appl. Opt. 57(29) 8775-8779 (2018)

Stress manipulated coating for fabricating lightweight X-ray telescope mirrors

Youwei Yao, Xiaoli Wang, Jian Cao, and Melville Ulmer
Opt. Express 23(22) 28605-28618 (2015)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).
  2. M. C. Weisskopf, S. L. O’Dell, and L. P. Van Speybroeck, “Advanced x-ray astrophysics facility (AXAF),” Proc. SPIE 2805, 2–7 (1996).
    [Crossref]
  3. S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
    [Crossref]
  4. W. W. Zhang, “Manufacture of mirror glass substrates for the NuSTAR mission,” Proc. SPIE 7437, 74370N (2009).
    [Crossref]
  5. W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
    [Crossref]
  6. E. Spiller, Soft x-ray optics (SPIE, 1994), Chap. 7.
  7. H. Windischmann, “Intrinsic stress in sputter-deposited thin films,” Crit. Rvs. in Solid State & Mater. Sci. (Wroclaw) 17(6), 547–596 (1992).
  8. K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
    [Crossref]
  9. K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
    [Crossref]
  10. D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).
  11. B. D. Chalifoux, Y. Yao, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Simulation of film stress effects on angular resolution for the Lynx x-ray observatory concept,” in preparation.
  12. C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
    [Crossref]
  13. B. D. Chalifoux, Y. Yao, H. E. Zuo, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Compensating film stress in silicon substrates for Lynx x-ray telescope mission concept using ion implantation,” Proc. SPIE 10699, 1069959 (2018).
    [Crossref]
  14. Y. Yao, X. Wang, J. Cao, and M. Ulmer, “Stress manipulated coating for fabricating lightweight X-ray telescope mirrors,” Opt. Express 23(22), 28605–28618 (2015).
    [Crossref] [PubMed]
  15. H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
    [Crossref]
  16. E. Kobeda and E. A. Irene, “SiO2 film stress distribution during thermal oxidation of Si,” J. Vac. Sci. Technol. B 6(2), 574–578 (1988).
    [Crossref]
  17. Y. Nishi and R. Doering, Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology (CRC, 2000), Chap. 7.
  18. D. W. Hoffman and J. A. Thornton, “Internal stresses in sputtered chromium,” Thin Solid Films 40, 355–363 (1977).
    [Crossref]
  19. B. D. Chalifoux, E. Sung, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “High-precision figure correction of x-ray telescope optics using ion implantation,” Proc. SPIE 8861, 88610T (2013).
    [Crossref]
  20. C. R. Forest, C. R. Canizares, D. R. Neal, M. McGuirk, and M. L. Schattenburg, “Metrology of thin transparent optics using shack-hartmann wavefront sensing,” Opt. Eng. 43(3), 742–753 (2004).
    [Crossref]
  21. M. Akilian, C. R. Forest, A. H. Slocum, D. L. Trumper, and M. L. Schattenburg, “Thin optic constraint,” Precis. Eng. 31(2), 130–138 (2007).
    [Crossref]
  22. E. S. Claflin and N. Bareket, “Configuring an electrostatic membrane mirror by least-squares fitting with analytically derived influence functions,” J. Opt. Soc. Am. A 3(11), 1833–1839 (1986).
    [Crossref]

2018 (5)

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, Y. Yao, H. E. Zuo, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Compensating film stress in silicon substrates for Lynx x-ray telescope mission concept using ion implantation,” Proc. SPIE 10699, 1069959 (2018).
[Crossref]

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

2016 (1)

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

2015 (2)

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Y. Yao, X. Wang, J. Cao, and M. Ulmer, “Stress manipulated coating for fabricating lightweight X-ray telescope mirrors,” Opt. Express 23(22), 28605–28618 (2015).
[Crossref] [PubMed]

2013 (2)

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, E. Sung, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “High-precision figure correction of x-ray telescope optics using ion implantation,” Proc. SPIE 8861, 88610T (2013).
[Crossref]

2012 (1)

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

2009 (1)

W. W. Zhang, “Manufacture of mirror glass substrates for the NuSTAR mission,” Proc. SPIE 7437, 74370N (2009).
[Crossref]

2007 (1)

M. Akilian, C. R. Forest, A. H. Slocum, D. L. Trumper, and M. L. Schattenburg, “Thin optic constraint,” Precis. Eng. 31(2), 130–138 (2007).
[Crossref]

2004 (1)

C. R. Forest, C. R. Canizares, D. R. Neal, M. McGuirk, and M. L. Schattenburg, “Metrology of thin transparent optics using shack-hartmann wavefront sensing,” Opt. Eng. 43(3), 742–753 (2004).
[Crossref]

1996 (1)

M. C. Weisskopf, S. L. O’Dell, and L. P. Van Speybroeck, “Advanced x-ray astrophysics facility (AXAF),” Proc. SPIE 2805, 2–7 (1996).
[Crossref]

1992 (1)

H. Windischmann, “Intrinsic stress in sputter-deposited thin films,” Crit. Rvs. in Solid State & Mater. Sci. (Wroclaw) 17(6), 547–596 (1992).

1988 (1)

E. Kobeda and E. A. Irene, “SiO2 film stress distribution during thermal oxidation of Si,” J. Vac. Sci. Technol. B 6(2), 574–578 (1988).
[Crossref]

1986 (1)

1977 (1)

D. W. Hoffman and J. A. Thornton, “Internal stresses in sputtered chromium,” Thin Solid Films 40, 355–363 (1977).
[Crossref]

Akilian, M.

M. Akilian, C. R. Forest, A. H. Slocum, D. L. Trumper, and M. L. Schattenburg, “Thin optic constraint,” Precis. Eng. 31(2), 130–138 (2007).
[Crossref]

Allen, L.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Allgood, K. D.

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

Allured, R.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Ames, A.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Ames, A. O.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Arenberg, J.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Bareket, N.

Biskach, M. P.

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Blackwood, G.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Broadway, D. M.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Bruni, R.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Bruni, R. J.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Burrows, D. N.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Canizares, C. R.

C. R. Forest, C. R. Canizares, D. R. Neal, M. McGuirk, and M. L. Schattenburg, “Metrology of thin transparent optics using shack-hartmann wavefront sensing,” Opt. Eng. 43(3), 742–753 (2004).
[Crossref]

Cao, J.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Y. Yao, X. Wang, J. Cao, and M. Ulmer, “Stress manipulated coating for fabricating lightweight X-ray telescope mirrors,” Opt. Express 23(22), 28605–28618 (2015).
[Crossref] [PubMed]

Chalifoux, B. D.

B. D. Chalifoux, Y. Yao, H. E. Zuo, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Compensating film stress in silicon substrates for Lynx x-ray telescope mission concept using ion implantation,” Proc. SPIE 10699, 1069959 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, E. Sung, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “High-precision figure correction of x-ray telescope optics using ion implantation,” Proc. SPIE 8861, 88610T (2013).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, Y. Yao, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Simulation of film stress effects on angular resolution for the Lynx x-ray observatory concept,” in preparation.

Chan, K.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

Chung, Y.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Claflin, E. S.

Cotroneo, V.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

DeRoo, C. T.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

Dominguez, A.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Dwivedi, V. H.

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

Elsner, R. F.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Forest, C. R.

M. Akilian, C. R. Forest, A. H. Slocum, D. L. Trumper, and M. L. Schattenburg, “Thin optic constraint,” Precis. Eng. 31(2), 130–138 (2007).
[Crossref]

C. R. Forest, C. R. Canizares, D. R. Neal, M. McGuirk, and M. L. Schattenburg, “Metrology of thin transparent optics using shack-hartmann wavefront sensing,” Opt. Eng. 43(3), 742–753 (2004).
[Crossref]

Gaskin, J. A.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Gelmis, K.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Gubarev, M.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Gubarev, M. V.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Gurgew, D.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Heilmann, R. K.

B. D. Chalifoux, Y. Yao, H. E. Zuo, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Compensating film stress in silicon substrates for Lynx x-ray telescope mission concept using ion implantation,” Proc. SPIE 10699, 1069959 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, E. Sung, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “High-precision figure correction of x-ray telescope optics using ion implantation,” Proc. SPIE 8861, 88610T (2013).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, Y. Yao, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Simulation of film stress effects on angular resolution for the Lynx x-ray observatory concept,” in preparation.

Hertz, E.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Hertz, E. N.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

Hlinka, M.

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

Hoffman, D. W.

D. W. Hoffman and J. A. Thornton, “Internal stresses in sputtered chromium,” Thin Solid Films 40, 355–363 (1977).
[Crossref]

Hohl, B.

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

Hong, M.

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

Irene, E. A.

E. Kobeda and E. A. Irene, “SiO2 film stress distribution during thermal oxidation of Si,” J. Vac. Sci. Technol. B 6(2), 574–578 (1988).
[Crossref]

Jackson, T. N.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Kearney, J. D.

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

Kilaru, K.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Kobeda, E.

E. Kobeda and E. A. Irene, “SiO2 film stress distribution during thermal oxidation of Si,” J. Vac. Sci. Technol. B 6(2), 574–578 (1988).
[Crossref]

Koenecke, R.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

Kolodziejczak, J. J.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Kolos, L.

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

Lis, T.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Liu, T.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

Marquez, V.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

Mazzarella, J.

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

Mazzarella, J. R.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

McCarley, K.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

McClelland, R.

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

McClelland, R. S.

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

McGuirk, M.

C. R. Forest, C. R. Canizares, D. R. Neal, M. McGuirk, and M. L. Schattenburg, “Metrology of thin transparent optics using shack-hartmann wavefront sensing,” Opt. Eng. 43(3), 742–753 (2004).
[Crossref]

Mori, H.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

Mulqueen, J.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Neal, D. R.

C. R. Forest, C. R. Canizares, D. R. Neal, M. McGuirk, and M. L. Schattenburg, “Metrology of thin transparent optics using shack-hartmann wavefront sensing,” Opt. Eng. 43(3), 742–753 (2004).
[Crossref]

Numata, A.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

O’Dell, S. L.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

M. C. Weisskopf, S. L. O’Dell, and L. P. Van Speybroeck, “Advanced x-ray astrophysics facility (AXAF),” Proc. SPIE 2805, 2–7 (1996).
[Crossref]

Okajima, T.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

Olsen, L. G.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

Özel, F.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Purcell, W.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Ramsey, B. D.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Reid, P. B.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Riveros, R. E.

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Roche, J. M.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Romaine, S. E.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Saha, T.

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

Saha, T. T.

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Schattenburg, M. L.

B. D. Chalifoux, Y. Yao, H. E. Zuo, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Compensating film stress in silicon substrates for Lynx x-ray telescope mission concept using ion implantation,” Proc. SPIE 10699, 1069959 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, E. Sung, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “High-precision figure correction of x-ray telescope optics using ion implantation,” Proc. SPIE 8861, 88610T (2013).
[Crossref]

M. Akilian, C. R. Forest, A. H. Slocum, D. L. Trumper, and M. L. Schattenburg, “Thin optic constraint,” Precis. Eng. 31(2), 130–138 (2007).
[Crossref]

C. R. Forest, C. R. Canizares, D. R. Neal, M. McGuirk, and M. L. Schattenburg, “Metrology of thin transparent optics using shack-hartmann wavefront sensing,” Opt. Eng. 43(3), 742–753 (2004).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, Y. Yao, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Simulation of film stress effects on angular resolution for the Lynx x-ray observatory concept,” in preparation.

Schwartz, D.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Schwartz, D. A.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Schwartz, E. D.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Sharpe, M.

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

Slocum, A. H.

M. Akilian, C. R. Forest, A. H. Slocum, D. L. Trumper, and M. L. Schattenburg, “Thin optic constraint,” Precis. Eng. 31(2), 130–138 (2007).
[Crossref]

Solly, P. M.

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Sung, E.

B. D. Chalifoux, E. Sung, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “High-precision figure correction of x-ray telescope optics using ion implantation,” Proc. SPIE 8861, 88610T (2013).
[Crossref]

Swartz, D.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Tananbaum, H.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

Tendulkar, M.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

Thornton, J. A.

D. W. Hoffman and J. A. Thornton, “Internal stresses in sputtered chromium,” Thin Solid Films 40, 355–363 (1977).
[Crossref]

Trolier-McKinstry, S.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Trumper, D. L.

M. Akilian, C. R. Forest, A. H. Slocum, D. L. Trumper, and M. L. Schattenburg, “Thin optic constraint,” Precis. Eng. 31(2), 130–138 (2007).
[Crossref]

Ulmer, M.

Ulmer, M. P.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Van Speybroeck, L. P.

M. C. Weisskopf, S. L. O’Dell, and L. P. Van Speybroeck, “Advanced x-ray astrophysics facility (AXAF),” Proc. SPIE 2805, 2–7 (1996).
[Crossref]

Vikhlinin, A.

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Vikhlinin, A. A.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

Walker, J.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

Wallace, M. L.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Wang, X.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Y. Yao, X. Wang, J. Cao, and M. Ulmer, “Stress manipulated coating for fabricating lightweight X-ray telescope mirrors,” Opt. Express 23(22), 28605–28618 (2015).
[Crossref] [PubMed]

Weimer, J.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Weisskopf, M. C.

M. C. Weisskopf, S. L. O’Dell, and L. P. Van Speybroeck, “Advanced x-ray astrophysics facility (AXAF),” Proc. SPIE 2805, 2–7 (1996).
[Crossref]

Windischmann, H.

H. Windischmann, “Intrinsic stress in sputter-deposited thin films,” Crit. Rvs. in Solid State & Mater. Sci. (Wroclaw) 17(6), 547–596 (1992).

Windt, D.

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

Windt, D. L.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Yao, Y.

B. D. Chalifoux, Y. Yao, H. E. Zuo, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Compensating film stress in silicon substrates for Lynx x-ray telescope mission concept using ion implantation,” Proc. SPIE 10699, 1069959 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Y. Yao, X. Wang, J. Cao, and M. Ulmer, “Stress manipulated coating for fabricating lightweight X-ray telescope mirrors,” Opt. Express 23(22), 28605–28618 (2015).
[Crossref] [PubMed]

B. D. Chalifoux, Y. Yao, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Simulation of film stress effects on angular resolution for the Lynx x-ray observatory concept,” in preparation.

Ye, S.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Yukita, M.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

Zhang, W. W.

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

W. W. Zhang, “Manufacture of mirror glass substrates for the NuSTAR mission,” Proc. SPIE 7437, 74370N (2009).
[Crossref]

Zuo, H.

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

Zuo, H. E.

B. D. Chalifoux, Y. Yao, H. E. Zuo, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Compensating film stress in silicon substrates for Lynx x-ray telescope mission concept using ion implantation,” Proc. SPIE 10699, 1069959 (2018).
[Crossref]

Crit. Rvs. in Solid State & Mater. Sci. (Wroclaw) (1)

H. Windischmann, “Intrinsic stress in sputter-deposited thin films,” Crit. Rvs. in Solid State & Mater. Sci. (Wroclaw) 17(6), 547–596 (1992).

J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. (1)

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Opt. Soc. Am. A (1)

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

E. Kobeda and E. A. Irene, “SiO2 film stress distribution during thermal oxidation of Si,” J. Vac. Sci. Technol. B 6(2), 574–578 (1988).
[Crossref]

Opt. Eng. (1)

C. R. Forest, C. R. Canizares, D. R. Neal, M. McGuirk, and M. L. Schattenburg, “Metrology of thin transparent optics using shack-hartmann wavefront sensing,” Opt. Eng. 43(3), 742–753 (2004).
[Crossref]

Opt. Express (1)

Precis. Eng. (1)

M. Akilian, C. R. Forest, A. H. Slocum, D. L. Trumper, and M. L. Schattenburg, “Thin optic constraint,” Precis. Eng. 31(2), 130–138 (2007).
[Crossref]

Proc. SPIE (11)

B. D. Chalifoux, E. Sung, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “High-precision figure correction of x-ray telescope optics using ion implantation,” Proc. SPIE 8861, 88610T (2013).
[Crossref]

B. D. Chalifoux, Y. Yao, H. E. Zuo, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Compensating film stress in silicon substrates for Lynx x-ray telescope mission concept using ion implantation,” Proc. SPIE 10699, 1069959 (2018).
[Crossref]

H. Mori, T. Okajima, W. W. Zhang, K. Chan, R. Koenecke, J. R. Mazzarella, A. Numata, L. G. Olsen, R. E. Riveros, and M. Yukita, “Reflective coatings for the future x-ray mirror substrates,” Proc. SPIE 10699, 1069941 (2018).
[Crossref]

K. Chan, W. W. Zhang, D. Windt, M. Hong, T. Saha, R. McClelland, M. Sharpe, and V. H. Dwivedi, “Reflective coating for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8443, 84433S (2012).
[Crossref]

K. Chan, M. Sharpe, W. W. Zhang, L. Kolos, M. Hong, R. McClelland, B. Hohl, T. Saha, and J. Mazzarella, “Coating thin mirror segments for lightweight x-ray optics,” Proc. SPIE 8861, 88610X (2013).
[Crossref]

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

J. A. Gaskin, A. Dominguez, K. Gelmis, J. Mulqueen, D. Swartz, K. McCarley, F. Özel, A. Vikhlinin, D. Schwartz, H. Tananbaum, G. Blackwood, J. Arenberg, W. Purcell, and L. Allen, “The Lynx x-ray observatory: concept study overview and status,” Proc. SPIE 10699, 106990N (2018).

M. C. Weisskopf, S. L. O’Dell, and L. P. Van Speybroeck, “Advanced x-ray astrophysics facility (AXAF),” Proc. SPIE 2805, 2–7 (1996).
[Crossref]

S. L. O’Dell, R. Allured, A. O. Ames, M. P. Biskach, D. M. Broadway, R. J. Bruni, D. N. Burrows, J. Cao, B. D. Chalifoux, K. Chan, Y. Chung, V. Cotroneo, R. F. Elsner, J. A. Gaskin, M. V. Gubarev, R. K. Heilmann, E. Hertz, T. N. Jackson, K. Kilaru, J. J. Kolodziejczak, R. S. McClelland, B. D. Ramsey, P. B. Reid, R. E. Riveros, J. M. Roche, S. E. Romaine, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, D. A. Schwartz, E. D. Schwartz, P. M. Solly, S. Trolier-McKinstry, M. P. Ulmer, A. Vikhlinin, M. L. Wallace, X. Wang, D. L. Windt, Y. Yao, S. Ye, W. W. Zhang, and H. Zuo, “Toward large-area sub-arcsecond x-ray telescopes II,” Proc. SPIE 9965, 996507 (2016).
[Crossref]

W. W. Zhang, “Manufacture of mirror glass substrates for the NuSTAR mission,” Proc. SPIE 7437, 74370N (2009).
[Crossref]

W. W. Zhang, K. D. Allgood, M. P. Biskach, K. Chan, M. Hlinka, J. D. Kearney, J. R. Mazzarella, R. S. McClelland, A. Numata, R. E. Riveros, T. T. Saha, and P. M. Solly, “Astronomical x-ray optics using mono-crystalline silicon: high resolution, light weight, and low cost,” Proc. SPIE 10699, 10699 (2018).
[Crossref]

Thin Solid Films (1)

D. W. Hoffman and J. A. Thornton, “Internal stresses in sputtered chromium,” Thin Solid Films 40, 355–363 (1977).
[Crossref]

Other (3)

Y. Nishi and R. Doering, Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology (CRC, 2000), Chap. 7.

E. Spiller, Soft x-ray optics (SPIE, 1994), Chap. 7.

B. D. Chalifoux, Y. Yao, R. K. Heilmann, and M. L. Schattenburg, “Simulation of film stress effects on angular resolution for the Lynx x-ray observatory concept,” in preparation.

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (13)

Fig. 1
Fig. 1 Process for stress compensation by thermal oxide patterning. Boxes with white backgrounds indicate metrology steps.
Fig. 2
Fig. 2 Sketch of thermal oxide pattern. A hexagonal unit cell (grey dashed lines) with 0.5 mm face-to-face width is used. In this illustration the pattern duty cycle increases from top to bottom, representing a stress (or thickness) gradient. Yellow regions indicate intact 250 nm-thick oxide coating, while the blue hexagonal regions indicate open areas where oxide has been removed (bare silicon surface).
Fig. 3
Fig. 3 Measured surface distortion induced by a thermal oxide layer on the backside of the wafer, which is represented by the Zernike polynomial coefficients provided in Table 1.
Fig. 4
Fig. 4 Calculated stress distribution in a thermal oxide layer. The mean integrated stress is −82 N/m (compressive) with a standard deviation of 1.96 N/m, indicating good uniformity.
Fig. 5
Fig. 5 Measured stress relaxation in a 30 nm-thick chromium coating with and without annealing (2 hours at 200 °C in N2). Non-annealed coatings experience several percent relaxation per week. Annealed samples display constant stress (within measurement noise). Each data point represents one measurement on a wafer.
Fig. 6
Fig. 6 Measured stress relaxation in 30 nm-thick chrome coatings vs. number of two-hour thermal cycles for temperatures of 200 °C and 300 °C.
Fig. 7
Fig. 7 Coating stress of a 30 nm chromium layer on a wafer front side measured before (left) and after (right) annealing at 200 °C.
Fig. 8
Fig. 8 Example of a duty cycle map calculated from maps shown in Figs. 4 and 7.
Fig. 9
Fig. 9 Plastic film photomask with hexagon pattern. The inset (upper right corner) shows the hexagon pattern observed under a microscope.
Fig. 10
Fig. 10 Diagram of the exposure process in the photo printer.
Fig. 11
Fig. 11 Optical micrograph of fabricated thermal oxide pattern. The blue area is thermal oxide and white hexagons are exposed silicon. In this example, the oxide is blue in color since the thickness is ~150 nm for test purpose.
Fig. 12
Fig. 12 Calibration test: measured mean integrated stress vs. designed duty cycle.
Fig. 13
Fig. 13 Measured surface distortion after coating (left) and after stress compensation (right). Note 30x smaller vertical scale in the right side. For Sample1, the measured thermal oxide stress was shown in Fig. 4, the coating stress in Fig. 7 and the calculated duty cycle in Fig. 8.

Tables (3)

Tables Icon

Table 1 Calculated Zernike coefficients and corresponding terms (Noll ordering)

Tables Icon

Table 2 RMS height and slope errors of the wafer distortion measured before and after compensation, derived from data shown in Fig. 13

Tables Icon

Table 3 Zernike coefficients of the residual distortion measured after compensation, derived from data shown in Fig. 13 (right)

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

[ C 11 C 1K C N1 C NK ][ b 1 b K ]=[ a 1 a N ]
Duty Cycle( x,y )= S oxide ( x,y ) S annealed ( x,y ) S oxide ( x,y )

Metrics